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        產品詳情
        • 產品名稱:Symetrie Nanopos 6-D Hexapod

        • 產品型號:
        • 產品廠商:Symetrie
        • 產品價格:0
        • 折扣價格:0
        • 產品文檔:
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        簡單介紹:
        NANOPOS六軸并聯定位臺 Nanometer resolution miniature hexapod
        詳情介紹:



        • 水平運動分辨率10nm
        • 角度運動分辨率1μrad
        • 負載達500g
        • 中間位置高度68mm

        • 主要參數


        NanoPos
        運動及定位
        行程Tx,Ty(mm) ±5
        行程Tz(mm) ±4
        行程Rx,Ry(deg) ±7
        行程Rz(deg) ±10
        分辨率Tx,Ty(nm) 10
        分辨率Tz(nm) 10
        分辨率Rx,Ry(μrad) 1
        分辨率Rz(μrad) 1
        重復精度Tx,Ty(nm) ±75
        重復精度Tz(nm) ±75
        重復精度Rx,Ry(μrad) ±2
        重復精度Rz(μrad) ±2
        機械特性
        負載(kg)(垂直方向/水平方向) 0.5
        電機類型 陶瓷電機
        NanoPos
        其它特性
        工作溫度(℃) +5~+40
        材料 鋁,銦鋼,陶瓷,不銹鋼
        運動臺面(mm) Φ70
        中孔(mm) Φ32
        中間位置高度(mm) 68
        質量(kg) 505
        線長(m) 1.2
        可選項 用戶可以定制平臺面;更大行程;真空兼容;無磁應用;尺寸可擴展
        控制器
        控制類型 CAPELLA
        接口 Ethernet,USB,串口(RS-232)
        輸出功率 110-240 VAC/ 50-60Hz

        尺寸圖

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